Atualmente, os principais métodos para obtenção manual de plasma são: 1 método de impacto de elétrons; Método de irradiação de 2 raios; 3 método de fotoionização; 4 método de plasma a laser; 5 método de ondas de choque. Entre eles, o método de impacto de elétrons é um método de produção de plasma industrial que tem sido amplamente utilizado. O equipamento de moagem a plasma para produção inclui principalmente: reação, resfriamento e coleta de 3 partes. Os dispositivos de resfriamento e coleta são em sua maioria similares, e o reator pode ser classificado em um tipo de corrente contínua, um tipo de alta frequência, um tipo de microondas e similares de uma maneira de gerar plasma.
1. Moagem a plasma de corrente contínua (DC)
O fresamento de plasma DC depende de uma fonte de energia DC para gerar plasma, o que faz com que partículas ultrafinas se formem. O pó de plasma DC tem as vantagens de não haver medo de interferência, coluna de arco estável, radiação pequena e alta potência, mas sua desvantagem significativa é a existência de corrosão do eletrodo e contaminação do eletrodo.
Se um sólido grande é usado como matéria-prima, a matéria-prima pode ser usada como um pólo, e um campo elétrico é aplicado diretamente entre o outro eletrodo e um arco para gerar um plasma, que também é chamado de método de arco.
2. Fresamento de plasma de alta frequência (RF)
O fresamento a plasma de alta freqüência depende da bobina de indução eletromagnética de alta frequência para fornecer energia para gerar plasma, causando assim partículas ultrafinas para formar condições. Como o método não tem eletrodos, a tocha de plasma é muito pura e o gás de plasma tem um pequeno fluxo e alta eficiência de aquecimento, mas o RF é suscetível a interferência e instável, e sua eficiência elétrica é baixa.
3. Fresagem de plasma por micro-ondas (MP)
A tecnologia de fresagem por plasma de microondas é o mais recente desenvolvimento da nova tecnologia de preparação de pós ultra-finos desde os anos 90. O uso de microondas como fonte de calor para gerar plasma tem muitas vantagens exclusivas em relação aos plasmas de alta frequência e CC:
1 alta atividade. Os plasmas de descarga de microondas têm temperaturas elétricas mais altas e podem operar a pressões de gás mais baixas, proporcionando maior ionização e dissociação.
2 sem poluição. Não há eletrodo interno na descarga de microondas, o que evita a poluição causada pelo sputtering do material eletrônico, e o plasma puro pode ser obtido, o que é adequado para a preparação e processamento da substância de alta pureza.
3 Uma ampla gama de excitação. O espectro de emissão do plasma de micro-ondas é mais amplo do que aquele quando o mesmo tipo de gás é descarregado por outros métodos, e a vida útil das partículas do estado excitado geradas pela descarga de micro-ondas é mais longa.
4 fácil de controlar. Os plasmas de microondas podem ser transmitidos e controlados em um espaço específico usando as chamadas "estruturas de cavidades". Com base nas vantagens acima, plasma de microondas tem grande potencial e valor de aplicação industrial na aplicação de preparação de material, por isso tornou-se um tema de pesquisa quente em casa e no exterior. Nos últimos anos, os relatórios sobre a síntese direta de nano-pó por plasma de microondas estão aumentando.
O uso de tecnologia de plasma para preparar nanomateriais levou a uma série de inovações tecnológicas e grandes avanços tecnológicos, especialmente no uso de alta frequência, plasma de corrente contínua, que pode satisfazer plenamente as necessidades de industrialização, enquanto a tecnologia de plasma de microondas abriu novas campo de pulverização de plasma.
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